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GB/T 42709.35-2026半导体器件微电子机械器件第35部分：柔性MEMS器件弯曲形变下的电特性测试方法

GB/T 42709.35-2026半导体器件微电子机械器件第35部分：柔性MEMS器件弯曲形变下的电特性测试方法

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发布时间：2026-11-09

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GB/T 42709.35-2026半导体器件微电子机械器件第35部分：柔性MEMS器件弯曲形变下的电特性测试方法