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GB/T 47749-2026微机电系统（MEMS）技术微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法

GB/T 47749-2026微机电系统（MEMS）技术微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法

文件类别：正版文档
发布时间：2026-11-09

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资料描述：
GB/T 47749-2026微机电系统（MEMS）技术微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法